Ce type de microscope a été développé pour réaliser des mesures avec un microscope métallographique ou un microscope stéréoscopique.
Il peut mesurer la forme d'une cible selon les axes X, Y et Z en évaluant le déplacement de la platine. Il offre une précision de mesure d'environ 1 µm. Cependant, les dimensions étant vérifiées visuellement, des erreurs de mesure liées à l'expérience de l'utilisateur peuvent se produire.
Selon le type de platine, il est possible de mesurer des dimensions de 50 mm à 200 mm environ.